Barril del reactor epitaxial recobert de SiC

Descripció breu:

Semicera ofereix una àmplia gamma de susceptors i components de grafit dissenyats per a diversos reactors d'epitaxi.

Mitjançant associacions estratègiques amb OEM líders del sector, una àmplia experiència en materials i capacitats avançades de fabricació, Semicera ofereix dissenys a mida per satisfer els requisits específics de la vostra aplicació.El nostre compromís amb l'excel·lència garanteix que rebeu solucions òptimes per a les vostres necessitats del reactor epitàxi.

 

Detall del producte

Etiquetes de producte

Descripció

La nostra empresa ofereixRecobriment de SiCserveis de processament a la superfície de grafit, ceràmica i altres materials mitjançant el mètode CVD, de manera que els gasos especials que contenen carboni i silici puguin reaccionar a alta temperatura per obtenir molècules Sic d'alta puresa, que es poden dipositar a la superfície dels materials recoberts per formar unCapa protectora de SiCper a l'epitaxi tipus de barril hipnòtic.

 

sic (1)

sic (2)

Principals característiques

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura:
la resistència a l'oxidació encara és molt bona quan la temperatura és tan alta com 1600 C.
2. Alta puresa: fet per deposició de vapor químic en condicions de cloració a alta temperatura.
3. Resistència a l'erosió: alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
4. Resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.

Especificacions principals del recobriment CVD-SIC

Propietats SiC-CVD
Estructura de cristall Fase β de la FCC
Densitat g/cm³ 3.21
Duresa Duresa Vickers 2500
Mida del gra μm 2~10
Puresa química % 99,99995
Capacitat calorífica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimació 2700
Força felexural MPa (RT de 4 punts) 415
Mòdul de Young Gpa (corba de 4 punts, 1300 ℃) 430
Expansió tèrmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivitat tèrmica (W/mK) 300
Lloc de treball Semicera
Lloc de treball de semicera 2
Màquina d'equip
Processament CNN, neteja química, recobriment CVD
El nostre servei

  • Anterior:
  • Pròxim: