Recobert de SiCPart de mitja lluna de grafités un component clau utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors, especialment per als equips epitaxials de SiC.Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fer que la part de mitja lluna tingui una puresa extremadament alta, una bona uniformitat de recobriment i una excel·lent vida útil, així com una alta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.
