Placa de suport susceptor recoberta de carbur de tàntalés un susceptor o estructura de suport que es cobreix amb una fina capa decarbur de tàntal. Aquest recobriment es pot formar a la superfície del susceptor mitjançant tècniques com la deposició física de vapor (PVD) o la deposició química de vapor (CVD), donant al susceptor les propietats superiors decarbur de tàntal.
Semicera ofereix recobriments especialitzats de carbur de tàntal (TaC) per a diversos components i suports.El procés de recobriment líder de Semicera permet als recobriments de carbur de tàntal (TaC) aconseguir una gran puresa, estabilitat a alta temperatura i una alta tolerància química, millorant la qualitat del producte dels cristalls SIC/GAN i les capes EPI (Susceptor de TaC recobert de grafit), i allargant la vida útil dels components clau del reactor. L'ús del recobriment TaC de carbur de tàntal és per resoldre el problema de les vores i millorar la qualitat del creixement del cristall, i Semicera ha resolt la tecnologia de recobriment de carbur de tàntal (CVD), assolint el nivell avançat internacional.
Després d'anys de desenvolupament, Semicera ha conquerit la tecnologia deCVD TaCamb l'esforç conjunt del departament d'R+D. Els defectes són fàcils de produir en el procés de creixement de les hòsties de SiC, però després de l'úsTaC, la diferència és significativa. A continuació es mostra una comparació de les hòsties amb i sense TaC, així com les peces de Simicera per al creixement d'un sol cristall.
Les principals característiques de les plaques de suport base recobertes de carbur de tàntal inclouen:
1. Estabilitat a alta temperatura: el carbur de tàntal té una excel·lent estabilitat a alta temperatura, fent que la placa de suport de la base recoberta sigui adequada per a les necessitats de suport en entorns de treball d'alta temperatura.
2. Resistència a la corrosió: el recobriment de carbur de tàntal té una bona resistència a la corrosió, pot resistir la corrosió química i l'oxidació i allargar la vida útil de la base.
3. Alta duresa i resistència al desgast: l'alta duresa del recobriment de carbur de tàntal dóna a la placa de suport de la base una bona resistència al desgast, que és adequada per a ocasions que requereixen una alta resistència al desgast.
4. Estabilitat química: el carbur de tàntal té una alta estabilitat a una varietat de substàncies químiques, cosa que fa que la placa de suport base recoberta funcioni bé en alguns entorns corrosius.
amb i sense TaC
Després d'utilitzar TaC (dreta)
A més, la de SemiceraProductes recoberts de TaCpresenten una vida útil més llarga i una major resistència a altes temperatures en comparació ambRecobriments de SiC.Les mesures de laboratori han demostrat que el nostreRecobriments TaCpot funcionar constantment a temperatures de fins a 2300 graus centígrads durant períodes prolongats. A continuació es mostren alguns exemples de les nostres mostres:
