Làmina de grafit recoberta de carbur de tàntalés un material de grafit amb una fina capa decarbur de tàntala la superfície del substrat. La capa fina de carbur de tàntal es forma normalment a la superfície del substrat de grafit mitjançant tècniques com la deposició física de vapor (PVD) o la deposició química de vapor (CVD). Aquest recobriment té excel·lents propietats, com ara una alta duresa, una excel·lent resistència al desgast, resistència a la corrosió i estabilitat a alta temperatura.
Semicera ofereix recobriments especialitzats de carbur de tàntal (TaC) per a diversos components i suports.El procés de recobriment líder de Semicera permet als recobriments de carbur de tàntal (TaC) aconseguir una gran puresa, estabilitat a alta temperatura i una alta tolerància química, millorant la qualitat del producte dels cristalls SIC/GAN i les capes EPI (Susceptor de TaC recobert de grafit), i allargant la vida útil dels components clau del reactor. L'ús del recobriment TaC de carbur de tàntal és per resoldre el problema de les vores i millorar la qualitat del creixement del cristall, i Semicera ha resolt la tecnologia de recobriment de carbur de tàntal (CVD), assolint el nivell avançat internacional.
Després d'anys de desenvolupament, Semicera ha conquerit la tecnologia deCVD TaCamb l'esforç conjunt del departament d'R+D. Els defectes són fàcils de produir en el procés de creixement de les hòsties de SiC, però després de l'úsTaC, la diferència és significativa. A continuació es mostra una comparació de les hòsties amb i sense TaC, així com les peces de Simicera per al creixement d'un sol cristall.
Els principals avantatges de la làmina de grafit recoberta de carbur de tàntal inclouen:
1. Resistència a altes temperatures: el carbur de tàntal té un alt punt de fusió i una excel·lent estabilitat a alta temperatura, fent que la làmina de grafit recoberta sigui adequada per al seu ús en ambients d'alta temperatura.
2. Resistència a la corrosió: el recobriment de carbur de tàntal pot resistir l'erosió de moltes substàncies químiques corrosives i allargar la vida útil del material.
3. Alta duresa: l'alta duresa de la capa fina de carbur de tàntal proporciona una bona resistència al desgast i és adequada per a aplicacions que requereixen una alta resistència al desgast.
4. Estabilitat química: el recobriment de carbur de tàntal té una excel·lent estabilitat a la corrosió química i és adequat per al seu ús en alguns medis corrosius.
amb i sense TaC
Després d'utilitzar TaC (dreta)
A més, la de SemiceraProductes recoberts de TaCpresenten una vida útil més llarga i una major resistència a altes temperatures en comparació ambRecobriments de SiC.Les mesures de laboratori han demostrat que el nostreRecobriments TaCpot funcionar constantment a temperatures de fins a 2300 graus centígrads durant períodes prolongats. A continuació es mostren alguns exemples de les nostres mostres:
