TaC Coated Plate és un disc especialitzat dissenyat per al seu ús en processos epitaxials de SiC, elaborat amb precisió a partir de material de grafit d'alta qualitat. La seva superfície està meticulosament recoberta de carbur de tàntal (TaC), un compost conegut per la seva puresa i resistència excepcionals. El recobriment de TaC millora la durabilitat i la resistència de la placa a altes temperatures, fent-la ideal per a les condicions exigents dels processos epitaxials de SiC.
Aquesta innovadora placa recoberta de TaC és un disc especialitzat dissenyat per al seu ús en processos epitaxials de SiC, elaborat amb precisió a partir de material de grafit d'alta qualitat. La superfície de la placa recoberta de TaC està meticulosament recoberta de carbur de tàntal (TaC), un compost conegut per la seva puresa i resistència excepcionals. serveix com a plataforma fiable per transportar hòsties durant diverses etapes del creixement epitaxial de SiC. La seva base de grafit d'alta puresa proporciona una superfície estable i inert, mentre que el recobriment TaC afegeix una capa addicional de protecció contra reaccions químiques i el desgast.
SemiceraTaC Coated Plate es personalitza segons els requisits específics dels clients, assegurant un rendiment òptim i compatibilitat amb els seus sistemes epitaxials de SiC. Tant si es tracta de mida, forma o altres especificacions, aquestes plaques estan fetes a mida per satisfer les necessitats úniques de cada aplicació.
amb i sense TaC
Després d'utilitzar TaC (dreta)
A més, la de SemiceraProductes recoberts de TaCpresenten una vida útil més llarga i una major resistència a altes temperatures en comparació ambRecobriments de SiC.Les mesures de laboratori han demostrat que el nostreRecobriments TaCpot funcionar constantment a temperatures de fins a 2300 graus centígrads durant períodes prolongats. A continuació es mostren alguns exemples de les nostres mostres:
