Anells de guia de grafit recoberts de TaCes refereix a la deposició d'una fina capa decarbur de tàntala la superfície d'un anell de guia de grafit per millorar la seva resistència al desgast, resistència a altes temperatures i estabilitat química. Aquest recobriment es forma normalment a la superfície d'un anell de guia de grafit mitjançant tècniques com ara la deposició física de vapor (PVD) o la deposició química de vapor (CVD).
Semicera ofereix recobriments especialitzats de carbur de tàntal (TaC) per a diversos components i suports.El procés de recobriment líder de Semicera permet als recobriments de carbur de tàntal (TaC) aconseguir una gran puresa, estabilitat a alta temperatura i una alta tolerància química, millorant la qualitat del producte dels cristalls SIC/GAN i les capes EPI (Susceptor de TaC recobert de grafit), i allargant la vida útil dels components clau del reactor. L'ús del recobriment TaC de carbur de tàntal és per resoldre el problema de les vores i millorar la qualitat del creixement del cristall, i Semicera ha resolt la tecnologia de recobriment de carbur de tàntal (CVD), assolint el nivell avançat internacional.
Després d'anys de desenvolupament, Semicera ha conquerit la tecnologia deCVD TaCamb l'esforç conjunt del departament d'R+D. Els defectes són fàcils de produir en el procés de creixement de les hòsties de SiC, però després de l'úsTaC, la diferència és significativa. A continuació es mostra una comparació de les hòsties amb i sense TaC, així com les peces de Simicera per al creixement d'un sol cristall.
Les principals característiques dels anells de guia de grafit recoberts de TaC inclouen:
1. Resistència a altes temperatures: el recobriment TaC té una excel·lent estabilitat a alta temperatura i pot mantenir l'estabilitat en ambients d'alta temperatura.
2. Resistència al desgast: L'elevada duresa de la capa fina de carbur de tàntal dóna a l'anell guia una bona resistència al desgast i allarga la seva vida útil.
3. Estabilitat química: el recobriment de TaC té una alta estabilitat contra la corrosió química, el que el fa adequat per a aplicacions en alguns medis corrosius.
4. Redueix la fricció: el recobriment TaC pot reduir eficaçment la fricció entre l'anell de guia de grafit i altres components i millorar l'eficiència dels segells mecànics.
amb i sense TaC
Després d'utilitzar TaC (dreta)
A més, la de SemiceraProductes recoberts de TaCpresenten una vida útil més llarga i una major resistència a altes temperatures en comparació ambRecobriments de SiC.Les mesures de laboratori han demostrat que el nostreRecobriments TaCpot funcionar constantment a temperatures de fins a 2300 graus centígrads durant períodes prolongats. A continuació es mostren alguns exemples de les nostres mostres:
