Portadors d'hòsties epitaxials recoberts de TaCs'utilitzen generalment en la preparació de dispositius optoelectrònics d'alt rendiment, dispositius d'alimentació, sensors i altres camps. Aixòportador d'hòsties epitaxialsfa referència a la deposició deTaCpel·lícula fina sobre el substrat durant el procés de creixement del cristall per formar una hòstia amb estructura i rendiment específics per a la preparació posterior del dispositiu.
La tecnologia de deposició de vapor químic (CVD) s'utilitza normalment per prepararPortadors d'hòsties epitaxials recoberts de TaC. Mitjançant la reacció de precursors orgànics metàl·lics i gasos de font de carboni a alta temperatura, es pot dipositar una pel·lícula de TaC a la superfície del substrat de cristall. Aquesta pel·lícula pot tenir excel·lents propietats elèctriques, òptiques i mecàniques i és adequada per a la preparació de diversos dispositius d'alt rendiment.
Semicera ofereix recobriments especialitzats de carbur de tàntal (TaC) per a diversos components i suports.El procés de recobriment líder de Semicera permet als recobriments de carbur de tàntal (TaC) aconseguir una gran puresa, estabilitat a alta temperatura i una alta tolerància química, millorant la qualitat del producte dels cristalls SIC/GAN i les capes EPI (Susceptor de TaC recobert de grafit), i allargant la vida útil dels components clau del reactor. L'ús del recobriment TaC de carbur de tàntal és per resoldre el problema de les vores i millorar la qualitat del creixement del cristall, i Semicera ha resolt la tecnologia de recobriment de carbur de tàntal (CVD), assolint el nivell avançat internacional.
Després d'anys de desenvolupament, Semicera ha conquerit la tecnologia deCVD TaCamb l'esforç conjunt del departament d'R+D. Els defectes són fàcils de produir en el procés de creixement de les hòsties de SiC, però després de l'úsTaC, la diferència és significativa. A continuació es mostra una comparació de les hòsties amb i sense TaC, així com les peces de Simicera per al creixement d'un sol cristall.
amb i sense TaC
Després d'utilitzar TaC (dreta)
A més, la de SemiceraProductes recoberts de TaCpresenten una vida útil més llarga i una major resistència a altes temperatures en comparació ambRecobriments de SiC.Les mesures de laboratori han demostrat que el nostreRecobriments TaCpot funcionar constantment a temperatures de fins a 2300 graus centígrads durant períodes prolongats. A continuació es mostren alguns exemples de les nostres mostres:
