El Solid SiC Focus Ring de Semicera és un component d'avantguarda dissenyat per satisfer les demandes de la fabricació avançada de semiconductors. Fet d'alta puresaCarbur de silici (SiC), aquest anell d'enfocament és ideal per a una àmplia gamma d'aplicacions a la indústria dels semiconductors, especialment aProcessos CVD SiC, gravat amb plasma iICPRIE (Gravació d'ions reactius de plasma acoblat inductivament). Conegut per la seva excepcional resistència al desgast, l'alta estabilitat tèrmica i la puresa, garanteix un rendiment durador en entorns d'alt estrès.
En semiconductorhòstiaprocessament, els anells d'enfocament de SiC sòlid són crucials per mantenir un gravat precís durant les aplicacions de gravat en sec i gravat d'hòsties. L'anell d'enfocament de SiC ajuda a enfocar el plasma durant processos com ara les operacions de màquines de gravat per plasma, el que el fa indispensable per al gravat de les hòsties de silici. El material sòlid de SiC ofereix una resistència inigualable a l'erosió, assegurant la longevitat del vostre equip i minimitzant el temps d'inactivitat, que és essencial per mantenir un alt rendiment en la fabricació de semiconductors.
El Solid SiC Focus Ring de Semicera està dissenyat per suportar temperatures extremes i productes químics agressius que es troben habitualment a la indústria dels semiconductors. Està dissenyat específicament per al seu ús en tasques d'alta precisió com araRecobriments CVD SiC, on la puresa i la durabilitat són primordials. Amb una excel·lent resistència al xoc tèrmic, aquest producte garanteix un rendiment constant i estable en les condicions més dures, inclosa l'exposició a altes temperatures duranthòstiaprocessos de gravat.
En aplicacions de semiconductors, on la precisió i la fiabilitat són clau, el Solid SiC Focus Ring té un paper fonamental en la millora de l'eficiència global dels processos de gravat. El seu disseny robust i d'alt rendiment el converteix en l'elecció perfecta per a les indústries que requereixen components d'alta puresa que funcionen en condicions extremes. Tant si s'utilitza enAnell CVD SiCaplicacions o com a part del procés de gravat per plasma, el Solid SiC Focus Ring de Semicera ajuda a optimitzar el rendiment del vostre equip, oferint la longevitat i la fiabilitat que demanen els vostres processos de producció.
Característiques principals:
• Superior resistència al desgast i alta estabilitat tèrmica
• Material de SiC sòlid d'alta puresa per a una vida útil prolongada
• Ideal per a gravat amb plasma, ICP RIE i aplicacions de gravat en sec
• Perfecte per al gravat d'hòsties, especialment en processos CVD SiC
• Rendiment fiable en entorns extrems i altes temperatures
• Assegura precisió i eficiència en el gravat de plaques de silici
Aplicacions:
• Processos CVD SiC en la fabricació de semiconductors
• Gravat per plasma i sistemes ICP RIE
• Procés de gravat en sec i gravat d'hòsties
• Gravat i deposició en màquines de gravat per plasma
• Components de precisió per a anells d'hòsties i anells CVD SiC
Morfologia microscòpica de la superfície CVD SiC
Morfologia microscòpica de la secció transversal de CVD SiC
