Sistema Epi del reactor de barril de recobriment de SiC

Descripció breu:

Semicera ofereix una àmplia gamma de susceptors i components de grafit dissenyats per a diversos reactors d'epitaxi.

Mitjançant associacions estratègiques amb OEM líders del sector, una àmplia experiència en materials i capacitats avançades de fabricació, Semicera ofereix dissenys a mida per satisfer els requisits específics de la vostra aplicació. El nostre compromís amb l'excel·lència garanteix que rebeu solucions òptimes per a les vostres necessitats del reactor epitàxi.

Envieu-nos un correu electrònic

Detall del producte

Etiquetes de producte

La nostra empresa ofereixRecobriment de SiCserveis de processament a la superfície de grafit, ceràmica i altres materials mitjançant el mètode CVD, de manera que els gasos especials que contenen carboni i silici puguin reaccionar a alta temperatura per obtenir molècules Sic d'alta puresa, que es poden dipositar a la superfície dels materials recoberts per formar unCapa protectora de SiCper a l'epitaxi tipus de barril hipnòtic.

Característiques principals:

1. Grafit recobert de SiC d'alta puresa

2. Resistència a la calor superior i uniformitat tèrmica

3. BéRevestiment de cristall de SiCper a una superfície llisa

4. Alta durabilitat davant la neteja química

Especificacions principals deRecobriment CVD-SIC

Propietats SiC-CVD
Estructura de cristall	Fase β de la FCC
Densitat	g/cm³	3.21
Duresa	Duresa Vickers	2500
Mida del gra	μm	2~10
Puresa química	%	99,99995
Capacitat calorífica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimació	℃	2700
Força felexural	MPa (RT de 4 punts)	415
Mòdul de Young	Gpa (corba de 4 punts, 1300 ℃)	430
Expansió tèrmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Conductivitat tèrmica	(W/mK)	300