Semicera presenta personalitzat d'alta qualitatPales en voladís de carbur de silicidissenyat per millorar els processos de fabricació de semiconductors. La innovadoraPàdel SiCEl disseny garanteix una durabilitat excepcional i una alta resistència tèrmica, cosa que el converteix en un component essencial per a la manipulació d'hòsties en entorns difícils d'alta temperatura.
ElPaleta de carbur de siliciestà construït per suportar cicles tèrmics extrems mantenint la integritat estructural, assegurant un transport fiable de les hòsties durant les fases crítiques de la producció de semiconductors. Amb una resistència mecànica superior, aixòvaixell d'hòstiaminimitza el risc de danys a les hòsties, donant lloc a majors rendiments i qualitat de producció constant.
Una de les innovacions clau del pàdel SiC de Semicera rau en les seves opcions de disseny personalitzat. Dissenyat per satisfer les necessitats específiques de producció, la paleta ofereix flexibilitat en la integració amb diverses configuracions d'equips, la qual cosa la converteix en una solució ideal per als processos de fabricació moderns. La construcció lleugera però robusta permet un fàcil maneig i redueix el temps d'inactivitat operativa, contribuint a millorar l'eficiència en la producció de semiconductors.
A més de les seves propietats tèrmiques i mecàniques, elPaleta de carbur de siliciofereix una excel·lent resistència química, el que li permet funcionar de manera fiable fins i tot en entorns químics durs. Això el fa especialment adequat per al seu ús en processos que impliquen gravat, deposició i tractament a alta temperatura, on mantenir la integritat del vaixell d'hòsties és crucial per garantir sortides d'alta qualitat.
Propietats físiques del carbur de silici recristal·litzat | |
Propietat | Valor típic |
Temperatura de treball (°C) | 1600 °C (amb oxigen), 1700 °C (entorn reductor) |
Contingut de SiC | > 99,96% |
Contingut Si gratuït | < 0,1% |
Densitat aparent | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porositat aparent | < 16% |
Força de compressió | > 600 MPa |
Resistència a la flexió en fred | 80-90 MPa (20 °C) |
Resistència a la flexió en calent | 90-100 MPa (1400 °C) |
Expansió tèrmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitat tèrmica @1200°C | 23 W/m•K |
Mòdul elàstic | 240 GPa |
Resistència al xoc tèrmic | Extremadament bo |