Característiques i avantatges
1. Dimensions precises i estabilitat tèrmica
2. Alta rigidesa específica i excel·lent uniformitat tèrmica, l'ús a llarg termini no és fàcil de doblegar la deformació;
3. Té una superfície llisa i una bona resistència al desgast, de manera que maneja el xip amb seguretat sense contaminació de partícules.
4. Resistivitat de carbur de silici en 106-108Ω, no magnètic, d'acord amb els requisits d'especificació anti-ESD; Pot evitar l'acumulació d'electricitat estàtica a la superfície del xip
5. Bona conductivitat tèrmica, baix coeficient d'expansió.