Safata MOCVD recoberta de SiC d'alta puresa antioxidació

Descripció breu:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. és un proveïdor líder especialitzat en hòsties i consumibles avançats de semiconductors.Ens dediquem a oferir productes innovadors, fiables i d'alta qualitat per a la fabricació de semiconductors,indústria fotovoltaicai altres camps relacionats.

La nostra línia de productes inclou productes de grafit recoberts de SiC/TaC i productes ceràmics, que inclouen diversos materials com ara carbur de silici, nitrur de silici i òxid d'alumini, etc.

Com a proveïdor de confiança, entenem la importància dels consumibles en el procés de fabricació i ens comprometem a oferir productes que compleixin els estàndards de qualitat més alts per satisfer les necessitats dels nostres clients.

 

Detall del producte

Etiquetes de producte

Descripció

La nostra empresa ofereixRecobriment de SiCserveis de procés mitjançant el mètode CVD a la superfície de grafit, ceràmica i altres materials, de manera que els gasos especials que contenen carboni i silici reaccionin a alta temperatura per obtenir molècules de SiC d'alta puresa, molècules dipositades a la superfície dels materials recoberts, formant unCapa protectora de SiC.

 

Característiques principals

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura:
la resistència a l'oxidació encara és molt bona quan la temperatura és tan alta com 1600 C.
2. Alta puresa: fet per deposició química de vapor en condicions de cloració a alta temperatura.
3. Resistència a l'erosió: alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
4. Resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.

Especificacions principals del recobriment CVD-SIC

Propietats SiC-CVD
Estructura de cristall Fase β de la FCC
Densitat g/cm³ 3.21
Duresa Duresa Vickers 2500
Mida del gra μm 2~10
Puresa química % 99,99995
Capacitat calorífica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimació 2700
Força felexural MPa (RT de 4 punts) 415
Mòdul de Young Gpa (corba de 4 punts, 1300 ℃) 430
Expansió tèrmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivitat tèrmica (W/mK) 300
MOCVD PARTS EPITAXIALS
Disc MOCVD

Equipament

sobre

Lloc de treball Semicera
Lloc de treball de semicera 2
Màquina d'equip
Processament CNN, neteja química, recobriment CVD
Magatzem Semicera
El nostre servei

  • Anterior:
  • Següent: