Semicera presenta el líder del sectorPortadores d'hòsties, dissenyat per proporcionar una protecció superior i un transport perfecte de delicades hòsties de semiconductors a les diferents etapes del procés de fabricació. El nostrePortadores d'hòstiesestan dissenyats meticulosament per satisfer les estrictes demandes de la fabricació moderna de semiconductors, assegurant que la integritat i la qualitat de les seves hòsties es mantinguin en tot moment.
Característiques principals:
• Construcció de material premium:Fabricats amb materials d'alta qualitat i resistents a la contaminació que garanteixen durabilitat i longevitat, el que els fa ideals per a entorns de sales netes.
•Disseny de precisió:Compta amb una alineació precisa de les ranures i mecanismes de subjecció segurs per evitar el lliscament i el dany de les hòsties durant la manipulació i el transport.
•Compatibilitat versàtil:S'adapta a una àmplia gamma de mides i gruixos d'hòsties, proporcionant flexibilitat per a diverses aplicacions de semiconductors.
•Manipulació ergonòmica:El disseny lleuger i fàcil d'utilitzar facilita la càrrega i descàrrega, millorant l'eficiència operativa i reduint el temps de manipulació.
•Opcions personalitzables:Ofereix personalització per satisfer requisits específics, com ara l'elecció del material, ajustos de mida i etiquetatge per a una integració optimitzada del flux de treball.
Milloreu el vostre procés de fabricació de semiconductors amb Semicera'sPortadores d'hòsties, la solució perfecta per protegir les vostres hòsties de contaminació i danys mecànics. Confieu en el nostre compromís amb la qualitat i la innovació per oferir productes que no només compleixin, sinó que superin els estàndards de la indústria, garantint que les vostres operacions funcionin de manera correcta i eficient.
| Elements | Producció | Recerca | Maniquí |
| Paràmetres de cristall | |||
| Politipus | 4H | ||
| Error d'orientació superficial | <11-20 >4±0,15° | ||
| Paràmetres elèctrics | |||
| Dopant | Nitrogen de tipus n | ||
| Resistivitat | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Paràmetres mecànics | |||
| Diàmetre | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Gruix | 350±25 μm | ||
| Orientació plana primària | [1-100]±5° | ||
| Longitud plana primària | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Pis secundari | Cap | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Arc | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Deformació | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Rugositat frontal (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Estructura | |||
| Densitat de microtubes | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Impureses metàl·liques | ≤5E10àtoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ua/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qualitat davantera | |||
| Davant | Si | ||
| Acabat superficial | Si-face CMP | ||
| Partícules | ≤60ea/hòstia (mida ≥0,3μm) | NA | |
| Esgarrapades | ≤5ea/mm. Longitud acumulada ≤Diàmetre | Longitud acumulada ≤ 2 * Diàmetre | NA |
| Pela de taronja/foses/taques/estries/esquerdes/contaminació | Cap | NA | |
| Estelles de vora/sagnies/fractura/plaques hexagonals | Cap | ||
| Zones politipus | Cap | Àrea acumulada ≤20% | Àrea acumulada ≤30% |
| Marcatge làser frontal | Cap | ||
| Tornar Qualitat | |||
| Acabat posterior | CMP cara C | ||
| Esgarrapades | ≤5ea/mm, longitud acumulada≤2 * Diàmetre | NA | |
| Defectes posteriors (estelles de vora/sagnies) | Cap | ||
| Rugositat de l'esquena | Ra≤0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Marcatge làser posterior | 1 mm (des de la vora superior) | ||
| Edge | |||
| Edge | Xamfrà | ||
| Embalatge | |||
| Embalatge | Epi-ready amb envasat al buit Embalatge de casset multiwafer | ||
| *Notes: "NA" significa que no hi ha cap sol·licitud. Els elements no esmentats poden referir-se a SEMI-STD. | |||
