Hòsties SOI

Descripció breu:

L'hòstia SOI és una estructura semblant a un sandvitx amb tres capes; Inclou la capa superior (capa del dispositiu), la part central de la capa d'oxigen enterrada (per a la capa aïllant de SiO2) i el substrat inferior (silici a granel). Les hòsties SOI es produeixen mitjançant el mètode SIMOX i la tecnologia d'unió d'hòsties, que permeten capes de dispositius més fines i precises, un gruix uniforme i una baixa densitat de defectes.


Detall del producte

Etiquetes de producte

Hòsties SOI (1)

Camp d'aplicació

1. Circuit integrat d'alta velocitat

2. Dispositius de microones

3. Circuit integrat d'alta temperatura

4. Dispositius d'alimentació

5. Circuit integrat de baixa potència

6. MEMS

7. Circuit integrat de baixa tensió

Item

Argument

En general

Diàmetre de l'hòstia
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Arc/Ordit
翘曲度(

<10um

Partícules
颗粒度(

0,3um <30ea

Plans/Notch
定位边/定位槽

Plana o Osca

Exclusió de la vora
边缘去除(mm)

/

Capa de dispositiu
器件层

Tipus de capa de dispositiu/dopant
器件层掺杂类型

Tipus N/Tipus P
B/ P/ Sb / As

Orientació de la capa de dispositiu
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gruix de la capa del dispositiu
器件层厚度(um)

0,1 ~ 300um

Resistivitat de la capa del dispositiu
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001 ~ 100.000 ohm-cm

Partícules de la capa del dispositiu
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Capa de dispositiu TTV
器件层TTV(

<10um

Acabat de la capa del dispositiu
器件层表面处理

Polit

CAPSA

Gruix d'òxid tèrmic enterrat
埋氧层厚度(um)

50 nm (500Å) ~ 15um

Capa de mànec
衬底

Mànec tipus hòstia/dopant
衬底层类型

Tipus N/Tipus P
B/ P/ Sb / As

Orientació de la hòstia del mànec
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Maneja la resistivitat de les hòsties
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001 ~ 100.000 ohm-cm

Gruix de la hòstia del mànec
衬底厚度(um)

>100um

Acabat d'hòstia de mànec
衬底表面处理

Polit

Les hòsties SOI d'especificacions objectiu es poden personalitzar segons els requisits del client.

Lloc de treball Semicera Lloc de treball de semicera 2

Màquina d'equipProcessament CNN, neteja química, recobriment CVD

El nostre servei


  • Anterior:
  • Següent: