Safata personalitzada ICP de semiconductors (gravat)

Descripció breu:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. és un proveïdor líder especialitzat en hòsties i consumibles avançats de semiconductors.Ens dediquem a oferir productes innovadors, fiables i d'alta qualitat per a la fabricació de semiconductors,indústria fotovoltaicai altres camps relacionats.

La nostra línia de productes inclou productes de grafit recoberts de SiC/TaC i productes ceràmics, que inclouen diversos materials com ara carbur de silici, nitrur de silici i òxid d'alumini, etc.

Com a proveïdor de confiança, entenem la importància dels consumibles en el procés de fabricació i ens comprometem a oferir productes que compleixin els estàndards de qualitat més alts per satisfer les necessitats dels nostres clients.

 

Detall del producte

Etiquetes de producte

Descripció del producte

La nostra empresa ofereix serveis de procés de recobriment de SiC mitjançant el mètode CVD a la superfície de grafit, ceràmica i altres materials, de manera que els gasos especials que contenen carboni i silici reaccionin a alta temperatura per obtenir molècules de SiC d'alta puresa, molècules dipositades a la superfície dels materials recoberts, formant una capa protectora SIC.

Característiques principals:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura:

la resistència a l'oxidació encara és molt bona quan la temperatura és tan alta com 1600 C.

2. Alta puresa: fet per deposició de vapor químic en condicions de cloració a alta temperatura.

3. Resistència a l'erosió: alta duresa, superfície compacta, partícules fines.

4. Resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.

3

Especificacions principals del recobriment CVD-SIC

Propietats SiC-CVD

Estructura de cristall

Fase β de la FCC

Densitat

g/cm³

3.21

Duresa

Duresa Vickers

2500

Mida del gra

μm

2~10

Puresa química

%

99,99995

Capacitat calorífica

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura de sublimació

2700

Força felexural

MPa (RT de 4 punts)

415

Mòdul de Young

Gpa (corba de 4 punts, 1300 ℃)

430

Expansió tèrmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Conductivitat tèrmica

(W/mK)

300


  • Anterior:
  • Següent: