Anell de SiC CVD a granel

Imatge destacada d'anell CVD SiC a granel

Descripció breu:

Els anells de SiC CVD a granel utilitzen gas de font de silici (com l'hidrur de silici) i gas de font de carboni (com el metà) com a matèries primeres, reaccionant a alta temperatura per dipositar materials de SiC de gran mida en un substrat o motlle. Aquest procés permet que el SiC es dipositi uniformement sobre una gran àrea, formant una estructura d'anell forta i consistent.

Envieu-nos un correu electrònic

Detall del producte

Etiquetes de producte

Per què és un anell de gravat de carbur de silici?

RTPAnells CVD SiCs'utilitzen àmpliament en camps industrials i científics en ambients d'alta temperatura i corrosius. Té un paper important en la fabricació de semiconductors, optoelectrònica, maquinària de precisió i indústria química. Les aplicacions específiques inclouen:

1. Fabricació de semiconductors:Anells RTP CVD SiCes pot utilitzar per escalfar i refredar equips semiconductors, proporcionant un control estable de la temperatura i garantint la precisió i la consistència del procés.

2. Optoelectrònica: per la seva excel·lent conductivitat tèrmica i resistència a altes temperatures, RTPAnells CVD SiCes pot utilitzar com a materials de suport i dissipació de calor per a làsers, equips de comunicació de fibra òptica i components òptics.

3. Maquinària de precisió: els anells RTP CVD SiC es poden utilitzar per a instruments i equips de precisió en entorns d'alta temperatura i corrosius, com ara forns d'alta temperatura, dispositius de buit i reactors químics.

4. Indústria química: a causa de la seva resistència a la corrosió i estabilitat química, els anells RTP CVD SiC es poden utilitzar en contenidors, canonades i reactors en reaccions químiques i processos catalítics.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Rendiment del producte:

1. Compleu amb el procés per sota de 28 nm

2. Super resistència a la corrosió

3. Rendiment super net

4. Super duresa

5. Alta densitat

6. Resistència a altes temperatures

7. Resistència al desgast

Aplicació del producte:

Els materials de carbur de silici tenen les característiques d'alta duresa, resistència al desgast, resistència a la corrosió i estabilitat a alta temperatura. Els productes amb un rendiment integral excel·lent s'utilitzen àmpliament en processos de gravat en sec i TF/difusió.