Com un dels components bàsics deEquips MOCVD, la base de grafit és el suport i el cos de calefacció del substrat, que determina directament la uniformitat i la puresa del material de la pel·lícula, de manera que la seva qualitat afecta directament la preparació de la làmina epitaxial i, al mateix temps, amb l'augment del nombre de usos i el canvi de condicions de treball, és molt fàcil de portar, pertanyent als consumibles.
Tot i que el grafit té una excel·lent conductivitat tèrmica i estabilitat, té un bon avantatge com a component baseEquips MOCVD, però en el procés de producció, el grafit corroirà la pols a causa dels residus de gasos corrosius i orgànics metàl·lics, i la vida útil de la base de grafit es reduirà molt.Al mateix temps, la pols de grafit que cau causarà contaminació al xip.
L'aparició de la tecnologia de recobriment pot proporcionar la fixació de la pols superficial, millorar la conductivitat tèrmica i igualar la distribució de calor, que s'ha convertit en la tecnologia principal per resoldre aquest problema.Base de grafit aEquips MOCVDentorn d'ús, el recobriment superficial de base de grafit ha de complir les característiques següents:
(1) La base de grafit es pot embolicar completament i la densitat és bona, en cas contrari, la base de grafit es pot corroir fàcilment amb el gas corrosiu.
(2) La força de combinació amb la base de grafit és alta per garantir que el recobriment no es caigui fàcilment després de diversos cicles d'alta i baixa temperatura.
(3) Té una bona estabilitat química per evitar la fallada del recobriment a alta temperatura i atmosfera corrosiva.
SiC té els avantatges de la resistència a la corrosió, l'alta conductivitat tèrmica, la resistència al xoc tèrmic i l'alta estabilitat química, i pot funcionar bé en l'atmosfera epitaxial de GaN.A més, el coeficient d'expansió tèrmica del SiC difereix molt poc del del grafit, de manera que el SiC és el material preferit per al recobriment superficial de la base de grafit.
Actualment, el SiC comú és principalment de tipus 3C, 4H i 6H, i els usos de SiC de diferents tipus de cristalls són diferents.Per exemple, 4H-SiC pot fabricar dispositius d'alta potència;6H-SiC és el més estable i pot fabricar dispositius fotoelèctrics;A causa de la seva estructura similar a GaN, el 3C-SiC es pot utilitzar per produir la capa epitaxial de GaN i fabricar dispositius de RF SiC-GaN.3C-SiC també es coneix comunament comβ-SiC, i un ús important deβ-SiC és com a material de pel·lícula i recobriment, per tantβ-El SiC és actualment el principal material de recobriment.
Hora de publicació: 06-nov-2023