Introducció del suport d'hòsties
CATAGORIA DE PRODUCTES
▶Sistema Wafer Carrier per al procés PECVD i TALOX
• Vaixell de grafit PECVD i TALOX (M4~M12)
• Vaixell SM vertical (M4, M6)
• Part de grafit d'implant i dutxa (M4~M6)
• Safata C/C i recobriment ceràmic
• Safata RIE metàl·lica i recobriment ceràmic
• Segellat al buit: O-Ring i SQ-Ring
▶Procés de transferència de textura i gravat humit
• LSC H-Carrier o casset (M4~M12)
• LSC V-Carrier o casset (M4~M12)
• Portador ASC o casset (M4, M6)
• Caixa de transport i emmagatzematge W/F (M4~M12)
• Sèrie Roda de Transport (Roller).
▶Portador de cèl·lules solars i portador de metall
• Portador TRC o casset (M4~M12)
• Revista (amb cinturó)
BARCA DE GRAFIT (tipus H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (tipus H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (tipus H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (tipus H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (tipus H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
PORTADOR WF I CAIXA D'EMMAGATZEMATGE (~M12)
SAFATA C/C o PORTADOR (M4~M10)
SAFATA C/C o PORTADOR (M4~M10)
BARCA VERTICAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PORTADOR ASC (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
BARCA DE GRAFIT (M12)
Sistema Wafer Carrier per al procés PECVD
▶ BARCA DE GRAFIT (Dissenyat per CT) Procés M10/M12
• CONCEPTE ESPECIAL DE DISSENY
▶ BARCA DE GRAFIT (Dissenyat per CT) Procés M4/M6
▶ Peces d'accessoris per a vaixells
▶ BARCA VERTICAL-HÒBLEA 161,7mm
▶ BARCA VERTICAL-HÒBLEA 166mm
▶ BARCA VERTICAL-161,7 mm, Hòstia 166 mm
Portador de cèl·lules solars i portador de metall TRC
TIPUS: Automatització
MIDA DE LA HÒBLEA: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
ÚS: Carry (Casset)
CAPACITAT: 100 fulls
PAS: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIONS: aproximadament 559 × 220 × 220 mm
Aproximadament 712 × 260 × 260 mm
AVANTATGE: Ambient
MATERIAL: FLAMA, BARRA LATERAL-Alumini (anoditzat)
PLACA LATERAL-POM (antiestàtic)
Coberta de la barra inferior-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (LÍNIA D'USUARI)
TRC-METAL CARRIER (LÍNIA D'USUARI)
TRC-METAL CARRIER (LÍNIA D'USUARI)
PLACA DE DUTXA I IMPLANTS, PORTADOR
