Les pel·lícules primes utilitzades en la fabricació de semiconductors tenen resistència, i la resistència de la pel·lícula té un impacte directe en el rendiment del dispositiu. Normalment no mesurem la resistència absoluta de la pel·lícula, sinó que utilitzem la resistència de la làmina per caracteritzar-la.
Què són la resistència de la làmina i la resistivitat de volum?
La resistivitat de volum, també coneguda com a resistivitat de volum, és una propietat inherent d'un material que caracteritza fins a quin punt el material impedeix el flux de corrent elèctric. El símbol d'ús habitual representa ρ, la unitat és Ω.
Resistència a la làmina, també coneguda com a resistència a la làmina, el nom anglès és resistència a la làmina, que fa referència al valor de resistència de la pel·lícula per unitat d'àrea. Símbols utilitzats habitualment Rs o ρs per expressar, la unitat és Ω/sq o Ω/□
La relació entre ambdós és: resistència de la làmina = resistivitat del volum/gruix de la pel·lícula, és a dir, Rs = ρ/t
Per què mesurar la resistència del full?
La mesura de la resistència absoluta d'una pel·lícula requereix un coneixement precís de les dimensions geomètriques de la pel·lícula (longitud, amplada, gruix), que té moltes variables i és molt complexa per a pel·lícules molt primes o de forma irregular. La resistència de la làmina només està relacionada amb el gruix de la pel·lícula i es pot provar ràpidament i directament sense càlculs complicats de mida.
Quines pel·lícules necessiten per mesurar la resistència del full?
En general, les pel·lícules conductores i les pel·lícules semiconductors s'han de mesurar per a la resistència quadrada, mentre que les pel·lícules aïllants no s'han de mesurar.
En el dopatge de semiconductors, també es mesura la resistència de la làmina de silici.
Com mesurar la resistència quadrada?
El mètode de quatre sondes s'utilitza generalment a la indústria. El mètode de quatre sondes pot mesurar una resistència quadrada que va d'1E-3 a 1E+9Ω/sq. El mètode de quatre sondes pot evitar errors de mesura a causa de la resistència de contacte entre la sonda i la mostra.
Mètodes de mesura:
1) Col·loqueu quatre sondes disposades linealment a la superfície de la mostra.
2) Aplicar un corrent constant entre les dues sondes exteriors.
3) Determineu la resistència mesurant la diferència de potencial entre les dues sondes internes
RS: resistència a la làmina
ΔV: Canvi de tensió mesurat entre sondes internes
I : Corrent aplicat entre sondes exteriors
Hora de publicació: 29-mar-2024