Aplicació de la ceràmica de carbur de silici en el camp dels semiconductors

Semiconductors:

La indústria dels semiconductors segueix la llei industrial d'"una generació de tecnologia, una generació de procés i una generació d'equips", i l'actualització i la iteració d'equips de semiconductors depèn en gran mesura de l'avenç tecnològic de les peces de precisió. Entre ells, les peces ceràmiques de precisió són els materials de peces de precisió de semiconductors més representatius, que tenen aplicacions importants en una sèrie d'enllaços principals de fabricació de semiconductors, com ara la deposició de vapor químic, la deposició física de vapor, la implantació d'ions i el gravat. Com ara coixinets, guies, revestiments, mandrils electrostàtics, braços mecànics de manipulació, etc. Especialment dins de la cavitat de l'equip, fa el paper de suport, protecció i desviació.

640

Des del 2023, els Països Baixos i el Japó també han emès successivament noves regulacions o decrets de comerç exterior sobre control, afegint regulacions de llicències d'exportació per a equips de semiconductors, incloses màquines de litografia, i la tendència de l'antiglobalització dels semiconductors ha sorgit gradualment. La importància del control independent de la cadena de subministrament és cada cop més destacada. Davant la demanda de localització de peces d'equips de semiconductors, les empreses nacionals estan promovent activament el desenvolupament industrial. Zhongci Electronics s'ha adonat de la localització de peces de precisió d'alta tecnologia, com ara plaques de calefacció i mandrils electrostàtics, solucionant el problema del "coll d'ampolla" de la indústria domèstica d'equips de semiconductors; Dezhi New Materials, un proveïdor nacional líder de bases de grafit recobertes de SiC i anells de gravat de SiC, ha completat amb èxit un finançament de 100 milions de iuans, etc...
Substrats ceràmics de nitrur de silici d'alta conductivitat:

Els substrats ceràmics de nitrur de silici s'utilitzen principalment a les unitats de potència, dispositius semiconductors i inversors de vehicles elèctrics purs (EV) i vehicles elèctrics híbrids (HEV), i tenen un gran potencial de mercat i perspectives d'aplicació.

640 (1)

Actualment, els materials de substrat ceràmic de nitrur de silici d'alta conductivitat tèrmica per a aplicacions comercials requereixen conductivitat tèrmica ≥85 W/(m·K), resistència a la flexió ≥650MPa i tenacitat a la fractura 5~7MPa·m1/2. Les empreses que realment tenen la capacitat de produir en massa substrats ceràmics de nitrur de silici d'alta conductivitat tèrmica són principalment Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa i Japan Fine Ceramics.

La investigació nacional sobre materials de substrat ceràmic de nitrur de silici també ha avançat. La conductivitat tèrmica del substrat ceràmic de nitrur de silici preparat pel procés de fosa de cinta de Beijing Branch of Sinoma High-Tech Nitrude Ceramics Co., Ltd. és de 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. ha preparat amb èxit un substrat ceràmic de nitrur de silici amb una resistència a la flexió de 700-800MPa, una tenacitat a la fractura ≥8MPa·m1/2 i una conductivitat tèrmica ≥80W/(m·K) optimitzant el mètode i el procés de sinterització.


Hora de publicació: Oct-29-2024